KrF光刻胶,正是支撑0.25微米到130纳米成熟制程芯片的绝对主力。各位看官日常接触的电源管理芯片、汽车MCU(微控制器)、图像传感器等,绝大多数都离不开这个工艺节点的芯片。可以说,没有稳定可靠的KrF光刻胶,这些关乎国计民生的成熟制程芯片生产就得停摆。
而光刻胶的性能,七分靠“树脂”。这核心树脂,是光刻胶的骨架和灵魂,直接决定了其感光灵敏度、分辨率、抗刻蚀性等关键指标,成本也占到光刻胶总成本的一半左右。谁能掌握核心树脂的合成技术,谁就扼住了光刻胶产业的命门。
过去几十年,这个命门,被日本企业牢牢攥在手心。JSR、信越化学、东京应化等少数几家日企,垄断了全球超过95%的KrF光刻胶树脂市场。他们形成了一道坚不可摧的技术铁幕:对外只销售调配好的成品光刻胶,而核心树脂的单体选型、聚合工艺、提纯方法等所有关键技术细节,全部列为最高机密,概不外泄。这道壁垒之高,连其盟友美国的企业也难以窥探,更遑论他人。东大的相关产业,长期处于“买胶调胶”的被动局面,上游核心树脂基本依赖进口,国产化率极低(KrF光刻胶整体国产化率仅约3%)。
这种受制于人的风险,在2019年日韩贸易摩擦中展现得淋漓尽致。日本一纸出口管制令,差点让韩国半导体巨头生产线停转,给全球产业链敲响了警钟。东大业界也彻底清醒:光刻胶及核心树脂一旦断供,自家的晶圆厂将面临瞬间停摆的巨大风险。攻克这道关卡,已不是商业竞争问题,而是关乎产业安全的生死存亡之战。[page]