沃格光电是全球少数同时掌握薄化、镀膜、黄光、TGV、精密镀铜、多层线路全制程并实现量产的企业。最小孔径3微米,深径比最高做到100比1,这数据放国际上也不虚。武汉年产10万平米的TGV产线已经量产,1.6T光模块的玻璃基载板小批量送样完成,成都8.6代线预计2026年量产,满产后月产能2.4万片。
京东方也没闲着,与康宁签了三年合作备忘录,大板级玻璃载板研发完成,样品已通过认证。
下游:封装厂已备好技术
长电科技的XDFOI方案兼容玻璃基板,通富微电同样具备TGV玻璃基板封装能力。虽然封测端利润薄,但客户要什么你能做什么,这就是竞争力。[page]
四、还有三道坎,但方向已不可逆
当然,玻璃基板想大规模铺开,还有三道硬骨头要啃。
第一道:高端装备。
电镀机、PVD、CMP、湿法设备还在攻关,部分核心设备依赖海外。但好消息是,帝尔激光等东大企业已在TGV激光微孔设备上取得突破,实现晶圆级和面板级全覆盖。
第二道:TGV工艺良率。
高深宽比的无缺陷填充、多层布线光刻对准与层间附着力,是目前良率提升的硬骨头。沃格光电等企业正通过与玻璃原片厂商深度合作,定向攻关这些工程难题。
第三道:材料和标准。
高纯度配方调控和大尺寸均匀性控制,玻璃原片上微米级的缺陷就能让整张报废。不过,2025年东大已经出台了《半导体封装用玻璃通孔基板技术规范》等团体标准,国家“十五五”规划也把低介电损耗玻璃基板列为战略攻关项目。[page]